洁净室改造一例粗效过滤器、中效过滤器、过滤器

洁净室改造一例粗效过滤器、中效过滤器、过滤器：

送风经过滤器进入洁净室，再从回风粗效过滤器进入回风道，部分回风气流和从新风粗效过滤器进来的新风通过中效过滤器进入风机室，另一部分回风气流直接进入空调机的进风口，空气冷却后经导流罩和冷管进入风机室。

两部分气流在风机室混合，通过风机箱上的中效过滤器由风机送入静压箱，再经过滤器进入洁净室构成气流循环系统。从气流的循环情况可知，实际上已形成了很好的三级过滤状态。因此，洁净室的空气质量得到了可靠的保证。在此基础上调整过滤器送风口的结构和布局配以相应的风量，就可确定洁净室的洁净形式和洁净度，以适应不同的需要。所示的洁净室，其两侧工作台上方构成了局部5级（ISO）的洁净空气主流区域，其佘为7级（ISO）。