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万级洁净室净化工程设计与施工

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万级洁净室净化工程设计与施工包括光学微电子净化工程无尘室或洁净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医院、食品制造等行业不可或缺的重要设施。万级洁净室净化工程以非单向流洁净室是把从污染源散发出来的尘、菌污染物在室内扩散作为前提,用经过高效过滤器处理的洁净空气将污染物冲淡稀释,从而保持室内所需的空气洁净度等级。
  万级洁净室净化工程设计与施工的详细资料:

万级洁净室净化工程设计与施工:万级洁净室净化工程包括光学微电子净化工程无尘室或洁净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医院、食品制造等行业不可或缺的重要设施。

万级洁净室净化工程是非单向流流型曾称为乱流型(Turbulence Airflow),非单向流是一种不均匀气流分布方式,其速度、方向在洁净室内不同地点是不同的,这是洁净室中使用zui为普遍的气流组织形式。

万级洁净室净化工程以非单向流洁净室是把从污染源散发出来的尘、菌污染物在室内扩散作为前提,用经过高效过滤器处理的洁净空气将污染物冲淡稀释,从而保持室内所需的空气洁净度等级。
下图所示为非单向流的气流组织概。

因此, 非单向流洁净室所需要的换气次数将随着要求的洁净度和室内的污染物扩散情况不同而差别很大。

万级净化工程非单向流洁净室的气流组织形式依据高效过滤器及回风口的安装方式不同而分为下列几类:顶送、侧下回;侧送、侧回;顶送、顶回。

这其中顶送、侧下回的气流组织形式是较为常用的形式。图5-25所示为几类常见的非单向流的气流流型。
带扩散孔板风口顶送、侧下回的非单向流洁净室,经高 效过滤器的洁净空气由扩散板送出,工作区气流分布比较均匀,其空气洁净度明显优于周围,而周围区域由于送风进入室内后不断卷入室内污染空气,洁净度较差;在相邻送风口之间或洁净室四角、沿边等送风气流不能覆盖的部位洁净度会更差些。

所以在布置顶送风口时,为使洁净室内各处洁净度尽可能的均匀,在总送风量一 定的条件下适当多设送风口或均匀布置送风口,尽可能地让相邻送风口气流在工作区高度上衔接,确保工作区要求的洁净度。
有时为了满足生产工艺关键部位的空气洁净度等级,在不影响洁净室顶板、灯具布置或不太损害整体美观的情况下,可按工艺设备布置调整送风口位置,采用不均匀布置的方式。若采用高效过滤器风口顶 送时,送风气流扩散角小,送风速度较大,会直接吹到地面,使工作区气流分布不均,所以这种送风方式的单个送风口的送风量不宜大,需用多个送风口弥补气流不均的现象。

回风口气流呈汇流状态,它对整个房间的气流流型影响较小,回风口的布置只要适当均布,数量不宜过少,一般回风口的间距在6~12m范围内;洁净室宽度大于6m时宜双侧布置回风口。

图5-26为带扩散板顶送下侧回非单向流洁净室气流状况,图5-27为高效过滤器风口顶送下侧回非单向流洁净室气流状 况。

单侧上送、对侧下回或单侧上送、同侧下回的非单向流 洁净室,这类气流流型虽可降低建筑层高,也可简化管道系统,但工作区高度可能会处于回流、涡流区,一般只适用于房间宽度小于6m的8~9级的洁净室。
顶送 顶回的非单向流洁净室一般用于回风口不便在侧墙下部布置时采用的气流流型,将顶部回风口设置在洁净室的边、角部位或对洁净度不敏感的工艺设备上方,一些洁净工程实践说明这种气流流型能确保工作区所需的一定洁净度要求,其效果常常优于侧送侧回气流流型。

图5-28是对局部发尘量大的非单向流洁净室的气流组织方案。如前所述非单向流洁净室内的尘、菌污染物可扩散到室内的任何地方,局部的设备或操作的大量发尘将会影响整个系统、房间,这对净化空调系统十分不 利,即使增加换气次数也不一定取得预期效果,在实际工程中通常是采用局部处理的方法,将发尘量大的排气由排所罩和排气管道经袋式除尘器等除尘装置集中处理后再循环使用,若排气量不大或循环使用不经济或排气中含有对产品、人体有害的尘、菌时,不应循环使用,而应经处理达到国家规定的排入标准后排入大气。

非单向流洁净室在净化工程中zui为常见,应用于许多领域。其室内的换气次数一般在10~60h﹣1之间(在不考虑维持室内的温度、湿度的情况下),造价和运行费用都要比单向流洁净室低许多。

但非单向流洁净室无法满足室内达到较严的空气洁净度等级的要求,非单向流气流流型一般用于空气洁净度等级为6~9级的洁净室。

随着现代的发展,人们的生活水平普遍提高,人们对健康越来越重视,同时随着科技的进步,大量的新观念和新技术被接受和应用,这为改善净化车间的洁净环境创造了一个良好的条件,尤其是对医院手术室食品光电的设计提出了新的要求,高效洁净净化车间的空气处理方法已被提上议事日程。

梓净净化从土建施工方面介绍了在净化车间等房间装修施工时如何采取措施以保证达到设计要求的净化等级。

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